Аналитические приборы требующие проведения анализа в вакуумной среде.

• Электронные микроскопы анализируют морфологию поверхности и микроструктуру материалов за счет получения изображений от рассеянных частиц в условиях вакуума. 
• Газовая хроматография-масс-спектрометрия (ГХ-МС) использует вакуум для анализа состава веществ на основе масс-спектров частиц с разным отношением массы к заряду. 
• Гелиевые течеискатели измеряют величину утечки по ионному сигналу гелия в вакуумных условиях.

Данные технологии находят широкое применение в таких областях, как наука о поверхностях, анализ материалов и экологический мониторинг.