Главная
> Применение
> Полупроводниковая промышленность
Полупроводниковая промышленность
Полупроводниковая промышленность служит технологическим фундаментом для стремительного развития современных информационных технологий. Новейшие технологические направления, такие как вычислительная техника, Интернет, мобильная связь, сети пятого поколения (5G), искусственный интеллект, обработка больших данных неразрывно связаны с прогрессом в области полупроводников. Производственно-технологическая цепочка отрасли включает в себя:
Вспомогательные отрасли производства полупроводниковых материалов и технологического оборудования. Вакуумная техника находит здесь применение преимущественно в сегменте оборудования.
Непосредственное производство полупроводников, ядром которого является изготовление интегральных схем (ИС): проектирование ИС, собственно изготовление пластин, сборка, корпусирование и тестирование готовых кристаллов.
Широкий спектр отраслей-потребителей полупроводниковой продукции. На глобальном уровне тройку лидирующих сегментов по объему применения полупроводников составляют: средства связи (включая смартфоны), персональные компьютеры и планшеты, а также промышленное и медицинское оборудование.
Вакуум является критически важным условием на всех этапах производства. Он необходим как при подготовке базовых материалов, например, в процессе выращивания монокристаллов методом Чохральского, так и на стадиях фронтальной обработки пластин (FEOL). К последним относятся процессы нанесения тонких пленок, фотолитографии, плазмохимического травления и ионной имплантации, которые требуют сверхчистых условий производства. Таким образом, обеспечение и контроль вакуума – это важные факторы, гарантирующие возможность развития интегральных схем.