Фотовольтаика представляет собой систему генерации электроэнергии, преобразующую энергию солнечного излучения в электричество посредством фотоэлектрического эффекта в полупроводниковых материалах. Источником энергии для фотоэлектрических систем является неисчерпаемая солнечная энергия, что делает данную технологию экологически чистой, безопасной и возобновляемой.
Тонкопленочные солнечные элементы представляют собой новый тип фотоэлектрических устройств, способных осуществлять фотоэлектрическое преобразование. В процессе их производства применяются различные технологии осаждения. Нанесение на подложку тонких пленок таких материалов, как арсенид галлия (GaAs), селенид меди-индия (CIS), теллурид кадмия (CdTe) и других, позволяет значительно повысить плотность фототока и, как следствие, общую эффективность преобразования. Технологии осаждения, используемые при производстве солнечных элементов, такие как физическое осаждение из паровой фазы (PVD) или плазмохимическое осаждение из паровой фазы (PECVD), требуют проведения технологических процессов в вакуумной среде.