Автоматизированный комплекс для проверки герметичности гелием и фторсодержащим маслом предназначен для проведения неразрушающего контроля полупроводниковых приборов, интегральных схем, электронных изделий и других электронных компонентов. Данная установка оснащена программируемым логическим контроллером (ПЛК), который обеспечивает автоматическое управление и выполнение всего процесса проверки на герметичность, что позволяет эффективно предотвращать ошибки оператора и повышать эффективность контроля. Кроме того на баке устройства установлено фотоэлектрическое измерительное оборудование, позволяющее постоянно отслеживать уровень масла в баке. Оборудование отличается высокой степенью автоматизации и высокой надежностью. При совместном использовании с гелиевым масс-спектрометрическим течеискателем и нагревателем для тяжелого фторуглеродного масла оно позволяет осуществлять полный цикл как точного, так и грубого контроля электронных компонентов на герметичность.

Принцип работы

Установка выполняет два вида проверки на герметичность. 1. Высокочувствительное течеискание в электронных компонентах с помощью гелия. Компоненты помещаются в герметичную камеру для опрессовки, которая заполняется гелием под давлением. Если в компонентах есть дефекты, гелий проникает внутрь их полостей. После этого компоненты извлекаются и перемещаются в вакуумную камеру течеискателя. Масс-спектрометрический течеискатель регистрирует гелий, выходящий из бракованных компонентов. 2. Грубое течеискание пузырьковым методом во фторированном масле. Проверяемые компоненты помещаются в автоклав, который заполняется низкокипящим фторированным маслом* так, чтобы изделия были полностью погружены. Затем в автоклаве создается избыточное давление, которое сохраняется в течение заданного времени. После завершения выдержки под давлением образцы извлекаются и погружаются в ванну с нагретым тяжелым фторированным маслом. Наблюдается поверхность компонентов: если из дефекта в испытуемом объекте выходят пузырьки газа, компонент признается негерметичным.

* Применение низкокипящего фторированного масла в электронной промышленности
В электронной промышленности, в частности при производстве полупроводников, низкокипящее фторированное масло используется в качестве рабочей жидкости в вакуумных системах благодаря комплексу специализированных свойств. Преимущества:

Высокая химическая инертность: масло не вступает в реакцию с агрессивными технологическими газами (например, используемыми в процессах травления или химического осаждения из паровой фазы - CVD), что предотвращает загрязнение реакционной камеры и защищает вакуумное оборудование от коррозии.

Чистота и отсутствие загрязнений: при работе в вакуумных насосах масло не образует нагара и отложений, которые могли бы мигрировать назад в вакуумную камеру и критически повлиять на выход пригодных изделий и качество полупроводниковых пластин.