FJ-300

Главная > Каталог > Вакуумные насосы > Откачные посты > FJ-300

FJ-300

Особенности

  • Компактная конструкция, наличие дополнительных функций позволяет выполнять индивидуальную настройку в зависимости от технологического процесса
  • Решение для интегрирования в вакуумные системы с автоматизацией вакуумного цикла

Применение

Научное приборостроение и аналитические исследования: в установках для анализа поверхности, масс-спектрометрах и электронных микроскопах Ускорительная техника и физика высоких энергий: в системах транспортировки пучка заряженных частиц и в ускорительных трубках Плазменные технологии и нанесение покрытий: в установках плазмохимического травления, ионной имплантации, а также в процессах магнетронного и электронно-лучевого напыления Производство электронных компонентов: откачка и обработка мощных электровакуумных приборов (клистронов, магнетронов), полупроводниковых устройств и систем CVD (химического осаждения из паровой фазы)
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной порт
    KF25
    Выходной порт
    KF25
  • Скорость откачки (л/с)
    N2: 296, He: 250, H2: 200, Ar: 305
    Коэффициент компрессии
    N2: 1×109, He: 6×105, H2: 1×105, Ar: 1×109
  • Предельное давление (Па)
    5×10-5
    Максимальное постоянное выпускное давление (Па)
    10
  • Модель форвакуумного насоса
    RV4 с масляным уплотнением
    WXP-3A-03 сухой насос
    Охлаждение
    Воздушное
  • Напряжение питания
    220 В, 16 А, 50 Гц
    Условия окружающей среды
    5…45 (oC), влажность <85%
  • Монтажное положение
    Вертикальное
    Габаритные размеры ШхГхВ (мм)
    570х616х1261
  • Вес (кг)
    123 (FJ-300), 80 (FJ-300G)

    •     KYKY FJ-300 обладает высокой скоростью откачки по азоту (300 л/с) и предельным остаточным давлением менее 5×10-6 Па. Турбомолекулярный насос характеризуется высокими коэффициентами компрессии, обеспечивающими эффективную откачку широкого спектра газов: порядка 109 для азота и аргона, и около 103 для легких газов, таких как гелий и водород. Конструктивной особенностью поста является его исполнение в виде единого агрегата, где все компоненты смонтированы на общей жесткой раме в едином корпусе. Управление постом осуществляется через сенсорный 7-ми дюймовый экран. Система охлаждения для поддержания стабильного теплового режима может быть воздушной или водяной. Вакуумная система включает входной фланец высокого вакуума типа CF / ISO-K и выходной фланец форвакуумного тракта ISO-KF40. Пост укомплектован двухканальным вакуумметром ZDF-11B7.
        Стандартная комплектация включает турбомолекулярный насос, форвакуумный насос, блок электронного управления, встроенную систему вакуумметрии с комбинированным преобразователем (Пирани и пьезо), электромагнитный запорный клапан, соединительные трубопроводы и весь необходимый крепеж с медными уплотнительными кольцами.

    Имя файла Тип Дата Размер файла