FJ-620

Главная > Каталог > Вакуумные насосы > Откачные посты > FJ-620

FJ-620

Особенности

  • Скорость откачки по азоту (N2) 600 л/с
  • Высокая степень сжатия 109 для азота и аргона
  • Предельное давление 5×10-5 Па
  • Универсальные фланцы DN160 CF / DN160 ISO-K на входе
  • Воздушное или водяное охлаждение на выбор
  • Низкая скорость натекания вакуумной системы ≤1×10-9 Па·м3/с
  • Быстрый запуск и простота эксплуатации

Применение

Анализ поверхностей: в установках для современных методов исследования поверхности Ускорительная техника: в ускорителях частиц и системах транспортировки пучка Плазменная технология: в плазмохимических процессах и установках плазменного травления Производство электровакуумных приборов: откачка и обработка различных электронно-оптических приборов и СВЧ-устройств Научно-исследовательские работы: в качестве базовой откачной станции в различных экспериментальных установках
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной порт
    DN160 CF/ ISO-K
    Выходной порт
    KF25
  • Диапазон давления (Па)
    1×10-5…1×105
    Скорость откачки (л/с)
    N2: 600, He: 380, H2: 240, Ar: 580
  • Коэффициент компрессии
    N2: 1×109, He: 1×104, H2: 1×103, Ar: 1×109
    Предельное давление (Па)
    5×10-5
  • Максимальное постоянное выпускное давление (Па)
    10
    Модель форвакуумного насоса
    RV4
  • Охлаждение
    Водяное
    Расход воды (л/мин)
    >1
  • Температура охлаждающей воды (oC)
    <25
    Напряжение
    380±20 В, 50 Гц
  • Температура окружающей среды (oC)
    5…40 (водяное охлаждение)
    5…32(воздушное охлаждение)
    Монтажное положение
    Вертикальное
  • Модель контроллера
    TCDP-II
    Габаритные размеры ШхГхВ (мм)
    550х690х956 (LF)
    550х690х970 (CF)
  • Вес (кг)
    117

    •     Вакуумный пост KYKY FJ-620 представляет собой откачную систему, построенную по двухступенчатой схеме откачки для получения высокого вакуума. Конструктивной особенностью данной модели является блочное исполнение с вертикальной компоновкой всех компонентов на общей раме. Турбомолекулярный насос обеспечивает скорость откачки по азоту 600 л/с, а по гелию — 380 л/с. Предельное остаточное давление составляет от 5×10-5 Па (для конфигурации с фланцем CF), при этом система характеризуется низкой скоростью натекания — не более 1×10-9 Па·м3/с.
    Пост предлагается в нескольких вариантах исполнения, отличающихся системой охлаждения и компонентами. Базовая модель оснащена системой водяного охлаждения с расходом теплоносителя более 1 л/мин при температуре на входе не выше 25oC. Также существует модификация FJ-620F с воздушным охлаждением, что позволяет эксплуатировать установку в условиях, где использование воды ограничено. В качестве форвакуумного насоса в стандартной комплектации используется масляный насос RV-6, однако в ряде модификаций (таких как FJ-620N) устанавливается безмасляный насос RVP-6, что особенно важно для применений, требующих высокой чистоты вакуумной среды.
        Система управления построена на базе программируемого контроллера TCDP-II или FD-IIB, который осуществляет мониторинг и контроль ключевых параметров работы, включая скорость вращения ротора турбомолекулярного насоса, давление в вакуумной системе и тепловой режим. Для интеграции с технологическим оборудованием пост оснащен входным фланцем высокого вакуума DN150 CF или DN150 ISO-K, а выходной фланец форвакуумного тракта выполнен в стандарте ISO-KF DN40, что обеспечивает универсальность соединения с большинством вакуумных камер.
    Стандартная комплектация включает:
    • Турбомолекулярный насос серии F-160/620 и его блок питания
    • Форвакуумный насос (RV-6 или RVP-6 в зависимости от модификации)
    • Комбинированный вакуумный gauge (вакуумметр) ZDF-11B5 или ZDF-11A2
    • Раму (стандартную или нестандартную в зависимости от исполнения)
    • Блок управления и контроля
    • Комплект вакуумных коммуникаций и крепежных элементов

    Имя файла Тип Дата Размер файла