FJ-700

FJ-700

Особенности

  • Скорость откачки 700 л/с для азота
  • Степень сжатия 109 для азота и аргона
  • Предельное давление 5×10-5 Па
  • Низкая скорость натекания вакуумной системы ≤1×10-9 Па·м3
  • Универсальные фланцы CF / ISO-K
  • Водяное охлаждение

Применение

Научное приборостроение и аналитические исследования: в установках для анализа поверхности, масс-спектрометрах и электронных микроскопах Ускорительная техника и физика высоких энергий: в системах транспортировки пучка заряженных частиц и в ускорительных трубках Плазменные технологии и нанесение покрытий: в установках плазмохимического травления, ионной имплантации, а также в процессах магнетронного и электронно-лучевого напыления Производство электронных компонентов: откачка и обработка мощных электровакуумных приборов (клистронов, магнетронов), полупроводниковых устройств и систем CVD (химического осаждения из паровой фазы)
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной порт
    DN160 CF/ISO-K
    Выходной порт
    KF25
  • Скорость откачки (л/с)
    N2: 700, He: 580, H2: 260, Ar: 680
    Коэффициент компрессии
    N2: 1×109, He: 1×107, H2: 1×106, Ar: 1×109
  • Предельное давление (Па)
    5×10-5
    Максимальное постоянное выпускное давление (Па)
    10
  • Модель форвакуумного насоса
    RV6
    Охлаждение
    Водяное
  • Расход воды (л/мин)
    >1
    Температура охлаждающей воды (oC)
    <25
  • Напряжение питания
    380±20 В, 50 Гц
    Температура окружающей среды (oC)
    5…40 (водяное охлаждение)
    5…32(воздушное охлаждение)
  • Монтажное положение
    Вертикальное
    Модель контроллера
    TCDP-II
  • Габаритные размеры ШхГхВ (мм)
    550х690х850 (водяное охлаждение)
    550х690х915 (воздушное охлаждение)
    Вес (кг)
    135
  •     KYKY FJ-700 предназначен для создания и поддержания рабочих давлений в диапазоне высокого и сверхвысокого вакуума. Установка реализует двухступенчатую схему откачки, где турбомолекулярный насос обеспечивает создание высокого вакуума, а пластинчато-роторный форвакуумный насос гарантирует требуемое предварительное разрежение.
    Конструктивной особенностью станции является блочно-модульная компоновка с вертикальным расположением агрегата на общей раме. Основной откачивающий узел - турбомолекулярный насос с консистентной смазкой - обеспечивает скорость откачки 700 л/с по азоту при предельном остаточном давлении 5×10-5 Па. Высокие коэффициенты компрессии; 109 для азота и аргона, 107 для гелия и 106 для водорода, позволяют эффективно работать с различными технологическими средами.
        Система управления на базе программируемого контроллера TCDP-II осуществляет мониторинг ключевых параметров: частоты вращения ротора, температуры подшипниковых узлов, давлений в высоковакуумном и форвакуумном трактах. Контроллер реализует защитные алгоритмы, включая блокировку при нарушении теплового режима, падении давления форвакуума или превышении токовой нагрузки. Для подключения к технологическому оборудованию пост оснащен входным фланцем DN160 CF (альтернативно - DN160 ISO-K) и выходным фланцем ISO-KF DN40. Система охлаждения предусмотрена водяная с минимальным расходом 1 л/мин, при этом предлагается модификация FJ-700F с воздушным охлаждением для применений с ограниченным водопотреблением.

    Имя файла Тип Дата Размер файла