CXF-200/1401

CXF-200/1401

в наличии на складе в Москве

Особенности

  • Турбомолекулярный насос с магнитным подвесом ротора
  • Встроенный контроллер с функцией «одного нажатия» для остановки.
  • Высокая надежность и длительный срок службы
  • Внутренние поверхности имеют коррозионностойкое покрытие для работы с агрессивными средами
  • Способность к генерации энергии при аварийном отключении питания
  • Ротор из композитного материала на основе высокопрочного алюминиевого сплава и углеродного волокна обеспечивает высокую частоту вращения при малом весе
  • Фланцы: ISO-K 200 или CF 200
  • Воздушное или водяное охлаждение

Применение

Производство полупроводников: в процессах травления, химического осаждения из паровой фазы (CVD), физического осаждения из паровой фазы (PVD) и ионной имплантации Промышленные покрытия: в установках вакуумного напыления Научное приборостроение: в научно-исследовательском оборудовании, требующем высокого и сверхвысокого вакуума Откачка агрессивных сред: для длительной работы с коррозионными и легкоконденсируемыми газами без ущерба для ресурса насоса
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной фланец
    DN200 ISO F (стандарт)
    DN200 CF или DN200 LF (опция /на заказ)
    Выходной фланец
    KF40
  • Скорость откачки (л/с)
    N2: 1280, Ar: 1100, He: 880, H2:560
    Степень сжатия
    N2: >108 Ar: >108, He: >104, H2: >103
  • Предельное давление (Па)
    10-7 (резиновое уплотнение)
    10-8 (металлическое уплотнение)
    Максимальный мгновенный поток на входе (ст.см3/мин)
    1 100
  • Фланец порта продувки (опционально)
    KF10
    Рекомендуемый расход продувочного газа (ст.см3/мин)
    20
  • Максимальная напряженность магнитного поля (мТл)
    Радиальное: 3
    Осевое: 15
    Номинальная скорость вращения ротора (об/мин)
    30 000
  • Время разгона (мин)
    ≤6
    Время остановки (мин)
    ≤8
  • Тип охлаждения
    Водяное
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    2
  • Рекомендуемая температура охлаждающей воды (oC)
    20±5
    Напряжение питания (В)
    220±10%, 50Гц
    110±10%, 60Гц
  • Модель встроенного контроллера
    CXFD-1001
    Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    ≥16
  • Вес (кг)
    51
  •     KYKY CXF-200/1401 представляет собой высоковакуумный насос на магнитном подвесе, предназначенный для создания и поддержания высокого и сверхвысокого вакуума. Основной технической особенностью насоса является полностью бесконтактная система активного магнитного подвеса ротора, которая осуществляет пятиосевую стабилизацию и динамическую балансировку в режиме реального времени, что полностью исключает механический износ и загрязнение от продуктов трения, обеспечивая длительный срок службы и высокую надежность. Предельное остаточное давление составляет 2×10-6 Па.
        Высокая производительность насоса обеспечивается скоростью откачки по азоту 1400 л/с. Насос демонстрирует высокую эффективность при работе с различными газами: скорость откачки по аргону составляет 1360 л/с, по гелию — 880 л/с, по водороду — 560 л/с. Эти характеристики обеспечиваются сложной молекулярной ступенью и номинальной скоростью вращения ротора 33000 об/мин. Важным эксплуатационным преимуществом является возможность монтажа насоса в любом пространственном положении.
        Уникальность модели CXF-200/1401 также заключается в применении ротора, изготовленного из композитного материала на основе высокопрочного алюминиевого сплава и углеродного волокна. Данная конструкция сочетает малый вес с высокой прочностью, что критически важно для обеспечения динамической стабильности на высоких скоростях вращения. Для работы в условиях воздействия агрессивных сред насос опционально может комплектоваться системой защиты, включающей продувку инертным газом и специальное химически стойкое исполнение CV с обогревом для предотвращения конденсации активных газов.
        Система управления насосом базируется на встроенном контроллере, который объединяет в себе функции питания, управления и диагностики. Контроллер обеспечивает полный мониторинг параметров работы, включая скорость вращения, температуру, состояние подшипников и вибрацию. Для интеграции в автоматизированные системы вакуумного оборудования насос оснащен стандартными промышленными интерфейсами, такими как RS-232/485 и 37-контактный разъем, а также поддерживает протокол Profibus. Отказ от внешнего контроллера упрощает конструкцию вакуумной системы и снижает общую стоимость эксплуатации.
        Насос требует водяного охлаждения с рекомендуемым расходом воды более 1 л/мин при температуре теплоносителя от 10 до 20oC. Для подключения к вакуумной системе используется высоковакуумный фланец DN 200 ISO-K или CF, а форвакуумный выход оснащен фланцем KF40. Масса насоса в сборе с контроллером составляет 51 кг.

    Имя файла Тип Дата Размер файла