CXF-200/1402

CXF-200/1402

в наличии на складе в Москве

Особенности

  • Высокоскоростной ротор на магнитном подвесе: скорость вращения 33 000 об/мин.
  • Высокая скорость откачки, высокая производительность по активным газам: 1400 л/с для азота (N2), 1100 л/с для гелия (He) и 820 л/с для водорода (H2).
  • Композитный ротор из углеродного волокна: конструкция из высокопрочного алюминиевого сплава, армированного углеродным волокном.
  • Защита от коррозии: специальная обработка внутренних поверхностей и возможность продувки инертным газом.
  • Система терморегуляции: сочетает водяное охлаждение и электрический нагрев, поддерживает стабильную внутреннюю температуру, предотвращая конденсацию технологических газов.

Применение

Полупроводниковое производство: в процессах травления, CVD (химического осаждения из паровой фазы), PVD (физического осаждения из паровой фазы) и ионной имплантации для откачки коррозионных и легкоконденсирующихся газов Промышленное покрытие: в установках для нанесения функциональных и декоративных покрытий на стекло и другие материалы Научное приборостроение: создание вакуума в сканирующих электронных микроскопах (СЭМ), системах масс-спектрометрии и другом аналитическом оборудовании Плазменные технологии: работа установок, генерирующих плазму для различных технологических и исследовательских целей Производство солнечных батарей: процессы в вакууме при изготовлении фотоэлектрических элементов
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной фланец
    DN200 ISO F (стандарт)
    DN200 CF или DN200 LF (опция /на заказ)
    Номинальная скорость вращения ротора (об/мин)
    33 000
  • Выходной фланец
    KF40
    Время разгона (мин)
    ≤7
  • Скорость откачки (л/с)
    N2 :1400, Ar:1300, He:1100, H2 :820
    Время остановки (мин)
    ≤9
  • Степень сжатия
    N2:>108 Ar:>108, He:>104, H2:>103
    Тип охлаждения
    Водяное охлаждение
  • Предельное давление (Па)
    10-7 (резиновое уплотнение)
    10 -8 (металлическое уплотнение)
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    2
  • Максимальный мгновенный поток на входе (ст.см3/мин)
    1200
    Рекомендуемая температура охлаждающей воды (oC)
    20±5
  • Фланец порта продувки (опционально)
    KF10
    Напряжение питания (В)
    220±10%, 50Гц 110±10%, 60Гц
  • Рекомендуемый расход защитного газа продувки (ст.см3,/sup>/мин)
    20
    Модель встроенного контроллера
    CXFD-1001
  • Максимально допустимая напряженность магнитного поля (мТл)
    Радиальный: 3
    Осевой: 15
    Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    ≥16
  • Вес (кг)
    51
  •     Турбомолекулярный насос KYKY CXF-200/1402 с активной пятиосевой системой магнитных подшипников представляет собой современное решение для создания высокого и сверхвысокого вакуума. Конструкция насоса обеспечивает вращение ротора в магнитном поле, что полностью исключает механический контакт и трение в рабочем режиме. Данная особенность позволяет получать абсолютно чистый от углеводородов вакуум и устраняет необходимость в смазке вращающихся компонентов. Система водяного охлаждения гарантирует поддержание стабильного теплового режима даже при продолжительной работе с интенсивными нагрузками.
        Роторная система, выполненная по гибридной технологии из высокопрочного алюминиевого сплава и углеродного волокна, обеспечивает снижение веса и момента инерции при сохранении механической прочности. Входной фланец насоса - DN200 ISO-K/ISO-F/CF, выходной - KF40, что обеспечивает универсальность интеграции в вакуумные системы. Для работы в агрессивных средах применено специальное антикоррозионное покрытие внутренних поверхностей и заполнение полости статора инертным газом после работы. Встроенная система терморегулирования с нагревателем и контроллером температуры предотвращает конденсацию технологических паров в процессе эксплуатации.
        Эксплуатационные преимущества модели включают отсутствие механического износа, минимальные требования к техническому обслуживанию, исключительную чистоту вакуумной среды за счет отсутствия смазочных материалов, а также низкий уровень вибрации (<0,05 мм) и шума. Конструкция насоса допускает установку в любой пространственной ориентации без потери производительности. Энергоэффективность системы обеспечивается применением технологии магнитного подвеса и высокоэффективного двигателя постоянного тока. Дополнительные меры безопасности включают аварийные подшипники и функцию рекуперации энергии при отключении питания.

    Сравнение с моделью CXF-200/1401    

    • Производительность: модель 1402 превосходит модель 1401 по всем показателям скорости откачки: по азоту (1400 л/с против 1280 л/с), гелию (1100 л/с против 880 л/с) и водороду (820 л/с против 560 л/с).
    • Скорость вращения и степень сжатия: ротор насоса CXF-200/1402 вращается быстрее — 33 000 об/мин против 30 000 об/мин у модели CXF-1401. Это также обеспечивает более высокую степень сжатия для азота — более 1×109.
    • Рабочие параметры: улучшенная конструкция позволяет модели 1402 работать при более высоком форвакуумном давлении: 1200 Па против 1100 Па у модели CXF-1401.
    • Время выхода на режим: из-за более высокой скорости вращения модель CXF-1402 требует немного больше времени для запуска (≤7 минут) и остановки (≤9 минут) по сравнению с моделью 1401 (≤6 и ≤8 минут соответственно).
    • Контроллер: каждая модель комплектуется собственным совместимым контроллером — CXF-1402 и CXF-1401 соответственно.

    Имя файла Тип Дата Размер файла