CXF-250/2301

CXF-250/2301

в наличии на складе в Москве

Особенности

  • Магнитный подвес ротора обеспечивает безмасляный вакуум при эксплуатации, высокую скорость вращения и надежность при нулевом трении
  • Ротор изготовлен из композитного материала на основе углеродного волокна, что снижает массу при одновременном повышении прочности для высокоскоростного вращения
  • Встроенная система управления с пятиосевой системой магнитных подшипников
  • Встроенная система водяного охлаждения для обеспечения стабильной работы, что необходимо для таких процессов, как плазмохимическое травление
  • Скорость откачки: 2200 л/с по азоту
  • Степень сжатия: 1×107 для азота
  • Предельное остаточное давление: 5×10-7 Па.
  • Присоединительные фланцы: ISO-K или CF 250
  • Низкое энергопотребление, минимальный уровень шума и вибрации, возможность работы в любом пространственном положении

Применение

Производство полупроводников: в процессах изготовления микросхем Промышленное напыление: в установках вакуумного напыления в автомобильной промышленности, таких как PVD (физическое осаждение из паровой фазы) и CVD (химическое осаждение из паровой фазы) Научные приборы: научные и аналитические приборы, требующие чистого высокого вакуума
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной фланец
    DN250 ISO F (стандарт)
    DN250 CF (опционально)
    DN250 LF (индивидуальный заказ)
    Номинальная скорость вращения ротора (об/мин)
    27 000
  • Выходной фланец
    KF40
    Время разгона (мин)
    ≤8
  • Скорость откачки (л/с)
    N2 :2150, Ar:1900, He:1550, H2:850
    Время остановки (мин)
    ≤11
  • Степень сжатия
    N2:>108 Ar:>108, He:>104, H2:>103
    Тип охлаждения
    Водяное охлаждение
  • Предельное давление (Па)
    10-7 (резиновое уплотнение)
    10-8 (металлическое уплотнение)
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    3
  • Максимальный мгновенный поток на входе (ст.см3/мин)
    1300
    Рекомендуемая температура охлаждающей воды (oC)
    20±5
  • Фланец порта продувки (опционально)
    KF10
    Напряжение питания (В)
    220±10%, 50Гц 110±10%, 60Гц
  • Рекомендуемый расход защитного газа продувки (ст.см3,/sup>/мин)
    50
    Модель встроенного контроллера
    CXFD-1601
  • Максимально допустимая напряженность магнитного поля (мТл)
    Радиальный: 3
    Осевой: 15
    Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    ≥22
  • Вес (кг)
    60
  •     KYKY CXF-250/2301 представляет собой высоковакуумный насос на магнитном подвесе ротора, предназначенный для непрерывной откачки значительных газовых потоков в условиях длительной эксплуатации. Конструкция насоса основана на пятиосевой системе электромагнитной левитации ротора. Данная система в реальном времени отслеживает его положение с помощью датчиков и осуществляет мгновенную регулировку посредством технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, что гарантирует исключительную стабильность работы и минимальный уровень вибраций, не превышающий 0,05 мм.
        Важной технической особенностью является ротор, изготовленный из высокопрочного алюминиевого сплава и композитного углеродного волокна. Такое сочетание материалов обеспечивает существенное снижение массы и момента инерции при одновременном повышении прочности, что позволяет ротору достигать номинальной рабочей скорости 30 000 об/мин. Насос демонстрирует скорость откачки по азоту 2200–2300 л/с, при этом степень компрессии для азота и аргона составляет 1×107 – 1×108, а для водорода — 1×103 . Предельное достижимое в системе остаточное давление не превышает 2×10-7 Па.
        Управление насосом осуществляется встроенным контроллером, который обеспечивает питание, запуск, остановку и мониторинг всех критических параметров. Контроллер оснащен интерфейсами связи RS232/485, и поддержкой промышленного протокола Profibus, что позволяет осуществлять полноценную интеграцию в автоматизированные системы технологического оборудования. Конструкция насоса предусматривает установку в любом пространственном положении и требует принудительного водяного охлаждения. Для работы в агрессивных средах, например, в процессах травления в полупроводниковом производстве, доступна химически стойкая модификация (CV), оснащенная системой подогрева и продувочным портом для инертного газа, что предотвращает конденсацию и осаждение реакционноспособных соединений на внутренних поверхностях насоса.
        Таким образом, турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2301 позиционируется как оборудование, сочетающее высокие эксплуатационные характеристики — безмасляную откачку, отсутствие механического износа подшипников, низкий уровень вибраций и возможность работы с большими потоками газа — с оптимальным соотношением надежности и стоимости, что делает его оптимальным для задач научного приборостроения, производства полупроводников и нанесения функциональных покрытий.

    Имя файла Тип Дата Размер файла