- Параметры
- Описание
- Размеры
- Графики
- Скачать
- Входной фланец
-
DN250 ISO F (стандарт)
DN250 CF (опционально)
DN250 LF (индивидуальный заказ)
- Номинальная скорость вращения ротора (об/мин)
-
27 000
- Выходной фланец
-
KF40
- Время разгона (мин)
-
≤8
- Скорость откачки (л/с)
-
N2 :2150, Ar:1900, He:1550, H2:850
- Время остановки (мин)
-
≤11
- Степень сжатия
-
N2:>108 Ar:>108, He:>104, H2:>103
- Тип охлаждения
-
Водяное охлаждение
- Предельное давление (Па)
-
10-7 (резиновое уплотнение)
10-8 (металлическое уплотнение)
- Расход охлаждающей воды (л/мин)
-
3
- Максимальный мгновенный поток на входе (ст.см3/мин)
-
1300
- Рекомендуемая температура охлаждающей воды (oC)
-
20±5
- Фланец порта продувки (опционально)
-
KF10
- Напряжение питания (В)
-
220±10%, 50Гц 110±10%, 60Гц
- Рекомендуемый расход защитного газа продувки (ст.см3,/sup>/мин)
-
50
- Модель встроенного контроллера
-
CXFD-1601
- Максимально допустимая напряженность магнитного поля (мТл)
-
Радиальный: 3
Осевой: 15
- Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
-
≥22
- Вес (кг)
-
60
KYKY CXF-250/2301 представляет собой высоковакуумный насос на магнитном подвесе ротора, предназначенный для непрерывной откачки значительных газовых потоков в условиях длительной эксплуатации. Конструкция насоса основана на пятиосевой системе электромагнитной левитации ротора. Данная система в реальном времени отслеживает его положение с помощью датчиков и осуществляет мгновенную регулировку посредством технологии управления магнитной подвеской с замкнутым контуром, что гарантирует исключительную стабильность работы и минимальный уровень вибраций, не превышающий 0,05 мм.
Важной технической особенностью является ротор, изготовленный из высокопрочного алюминиевого сплава и композитного углеродного волокна. Такое сочетание материалов обеспечивает существенное снижение массы и момента инерции при одновременном повышении прочности, что позволяет ротору достигать номинальной рабочей скорости 30 000 об/мин. Насос демонстрирует скорость откачки по азоту 2200–2300 л/с, при этом степень компрессии для азота и аргона составляет 1×107 – 1×108, а для водорода — 1×103 . Предельное достижимое в системе остаточное давление не превышает 2×10-7 Па.
Управление насосом осуществляется встроенным контроллером, который обеспечивает питание, запуск, остановку и мониторинг всех критических параметров. Контроллер оснащен интерфейсами связи RS232/485, и поддержкой промышленного протокола Profibus, что позволяет осуществлять полноценную интеграцию в автоматизированные системы технологического оборудования. Конструкция насоса предусматривает установку в любом пространственном положении и требует принудительного водяного охлаждения. Для работы в агрессивных средах, например, в процессах травления в полупроводниковом производстве, доступна химически стойкая модификация (CV), оснащенная системой подогрева и продувочным портом для инертного газа, что предотвращает конденсацию и осаждение реакционноспособных соединений на внутренних поверхностях насоса.
Таким образом, турбомолекулярный насос KYKY CXF-250/2301 позиционируется как оборудование, сочетающее высокие эксплуатационные характеристики — безмасляную откачку, отсутствие механического износа подшипников, низкий уровень вибраций и
возможность работы с большими потоками газа — с оптимальным соотношением надежности и стоимости, что делает его оптимальным для задач научного приборостроения, производства полупроводников и нанесения функциональных покрытий.
| Имя файла | Тип | Дата | Размер файла |

