CXF-250/2302

CXF-250/2302

в наличии на складе в Москве

Особенности

  • Магнитный подвес ротора: исключает трение и необходимость в смазке, обеспечивая длительный срок службы и низкий уровень вибрации.
  • Высокая скорость откачки: 2360 л/с для азота (N₂) и 2260 л/с для аргона (Ar).
  • Высокая степень сжатия: >1×10⁸ для азота (N₂) и аргона (Ar), что критически важно для достижения высокого и сверхвысокого вакуума.
  • Универсальность монтажа: конструкция позволяет устанавливать насос в любом пространственном положении.
  • Защита от коррозии: поверхности деталей подвергаются специальной обработке для устойчивости к агрессивным газам, что необходимо в процессах производства полупроводников и травления.
  • Система контроля температуры: система охлаждения и, опционально, система нагрева для поддержания стабильной температуры, предотвращающей конденсацию и осаждение перекачиваемых газов.
  • Энергосбережение: технология магнитного подвеса позволяет потреблять на 30% меньше электроэнергии по сравнению с насосами на механических подшипниках.

Применение

Научные исследования Вакуумное осаждение тонких пленок, включая низкоэмиссионные покрытия Выращивание кристаллов Производство плоских дисплеев, полупроводниковых устройств и солнечных элементов Вакуумный отжиг Вакуумная и сублимационная сушка Криотехнологии Установки нанесения тонких пленок, ионной имплантации, литографии
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной фланец
    DN250 ISO F (стандарт)
    DN250 CF (опционально)
    DN250 LF (индивидуальный заказ)
    Номинальная скорость вращения ротора (об/мин)
    30 000
  • Выходной фланец
    KF40
    Время разгона (мин)
    ≤9
  • Скорость откачки (л/с)
    N2 :2360, Ar:2260, He:1980, H2:1250
    Время остановки (мин)
    ≤12
  • Степень сжатия
    N2:>108 Ar:>108, He:>104, H2:>103
    Тип охлаждения
    Водяное охлаждение
  • Предельное давление (Па)
    10-7 (резиновое уплотнение)
    10-8 (металлическое уплотнение)
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    3
  • Максимальный мгновенный поток на входе (ст.см3/мин)
    1500
    Рекомендуемая температура охлаждающей воды (oC)
    20±5
  • Фланец порта продувки (опционально)
    KF10
    Напряжение питания (В)
    220±10%, 50Гц 110±10%, 60Гц
  • Рекомендуемый расход защитного газа продувки (ст.см3,/sup>/мин)
    50
    Модель встроенного контроллера
    CXFD-1601
  • Максимально допустимая напряженность магнитного поля (мТл)
    Радиальный: 3
    Осевой: 15
    Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    ≥22
  • Вес (кг)
    60
  •     KYKY CXF-250/2302 представляет собой высоковакуумный насос на магнитном подвесе, разработанный для применений, требующих высокой производительности и исключительной надежности. Данная технология исключает механическое трение и необходимость в смазке, позволяет осуществлять монтаж насоса в любом пространственном положении. Ротор выполнен по композитной технологии из высокопрочного алюминиевого сплава и углеродного волокна, характеризуется сниженной массой и повышенной прочностью, что способствует достижению высокой частоты вращения (до 30 000 об/мин) и высокой надежности. Для работы в условиях агрессивных сред насос обладает повышенной коррозионной стойкостью, обеспечиваемой специальной обработкой поверхностей деталей внутри насоса, а также возможностью продувки инертным газом через порт KF10.
        Основные технические характеристики турбомолекулярного насоса KYKY CXF-250/2302: скорость откачки по азоту 2360 л/с, степень сжатия по азоту 1×10⁸ и предельное остаточное давление 1×10⁻⁸ Па при использовании металлического уплотнения. Входной фланец выполнен в стандарте DN250 ISO-F с опциональным исполнением DN250 CF, а форвакуумный выходной фланец — KF40. Система охлаждения насоса водяная, с рекомендуемым расходом охлаждающей жидкости 3 л/мин. Насос оснащен встроенным специализированным контроллером серии CXF-2302, который обеспечивает управление магнитной левитацией, стартом, работой и остановкой насоса, динамическую компенсацию балансировки ротора, а также защиту и диагностику. Контроллер поддерживает внешние интерфейсы для интеграции в систему автоматизации технологического процесса.

    Сравнение моделей KYKY CXF-250/2302 и KYKY CXF-250/2301


        Модели KYKY CXF-250/2302 и KYKY CXF-250/2301, являясь представителями одного типоразмера, имеют ряд существенных технических отличий, определяющих их области применения.
    Модель CXF-250/2302 демонстрирует лучшие характеристики. Скорость откачки по азоту составляет 2360 л/с против 2150 л/с у модели CXF-250/2301. Соответственно, степень сжатия по азоту у модели 2302 также выше и достигает значения 1×10⁸, тогда как у модели 2301 этот показатель составляет 1×10⁷. Ротор модели CXF-250/2302 вращается с номинальной частотой 30 000 об/мин, в то время как частота вращения ротора модели 2301 составляет 27 000 об/мин. Это обуславливает разницу во времени выхода на рабочий режим: время разгона для модели 2302 составляет до 9 минут, а для модели 2301 — до 8 минут.
    Оба насоса используют различные модели встроенных контроллеров — CXF-2302 и CXF-2301 соответственно, которые оптимизированы для управления ротором с разными динамическими характеристиками.

    Имя файла Тип Дата Размер файла