CXF-320/3001

CXF-320/3001

Особенности

  • Система магнитных подшипников не требует смазки, обеспечивая полностью чистую вакуумную среду.
  • Высокая скорость откачки: 2950 л/с по азоту (N2).
  • Сверхвысокий вакуум: предельное остаточное давление ≤5×10-7 Па (или 1×10-7 Па в зависимости от конкретной модификации/типа уплотнений).
  • Насос комплектуется встроенным контроллером, что упрощает интеграцию в вакуумные системы.
  • Возможность установки в любом пространственном положении благодаря технологии магнитного подвеса.
  • Надежность и низкие эксплуатационные затраты: длительный срок службы и минимальные требования к техническому обслуживанию.
  • Разнообразие интерфейсов: поддержка различных протоколов для внешнего управления и мониторинга.
  • Конструкция оптимизирована для работы с высокими газовыми нагрузками в условиях непрерывной эксплуатации.
  • В качестве основного метода теплоотвода используется водяное охлаждение.

Применение

Производство полупроводников: базовое оборудование для процессов физического (PVD) и химического (CVD) осаждения из паровой фазы. Научные исследования: ускорители, масс-спектрометры, приборы для анализа поверхностей. Нанесение покрытий: в процессах нанесения оптических, энергосберегающих (low-E) и декоративных покрытий. Производство фотоэлектрических элементов, выпуск дисплеев плоских панелей, вакуумные печи, установки ионной имплантации.
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной фланец
    DN320 ISO F (стандарт)
    Номинальная скорость вращения ротора (об/мин)
    21 000
  • Выходной фланец
    KF40
    Время разгона (мин)
    ≤9
  • Скорость откачки (л/с)
    N2 :2950, Ar:2750, He:2300, H2:1100
    Время остановки (мин)
    ≤12
  • Степень сжатия
    N2:>108 Ar:>108, He:>104, H2:>103
    Тип охлаждения
    Водяное охлаждение
  • Предельное давление (Па)
    10-7 (резиновое уплотнение)
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    3
  • Максимальный мгновенный поток на входе (ст.см3/мин)
    2100
    Рекомендуемая температура охлаждающей воды (oC)
    20±5
  • Фланец порта продувки (опционально)
    KF10
    Напряжение питания (В)
    220±10%, 50Гц 110±10%, 60Гц
  • Рекомендуемый расход защитного газа продувки (ст.см3,/sup>/мин)
    50
    Модель встроенного контроллера
    CXFD-1001
  • Максимально допустимая напряженность магнитного поля (мТл)
    Радиальный: 3
    Осевой: 15
    Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    ≥30
  • Вес (кг)
    76
  •     KYKY CXF-320/3001 представляет собой высоковакуумный насос на магнитном подвесе, разработанный для применения в высокотехнологичных областях, таких как производство полупроводников, промышленные гальванопокрытия и научные приборы. Ротор насоса выполнен по композитной технологии из высокопрочного алюминиевого сплава и углеродного волокна. Это позволило значительно снизить его массу при одновременном повышении прочности, что необходимо для достижения высокой рабочей скорости вращения в 24 000 об/мин и обеспечения высокой надежности.
        Важнейшей технической особенностью является коррозионностойкое исполнение. Поверхности деталей внутри насоса, контактирующие с газами, проходят специальную обработку для противодействия агрессивным средам, характерным для процессов травления, CVD, PVD и ионной имплантации. Для работы с газами, конденсирующимися при комнатной температуре, насос оснащен системой контроля температуры с электрическим нагревателем и регулятором, что позволяет поддерживать внутреннюю температуру на заданном уровне и предотвращать осаждение веществ внутри насоса.
        Система управления насоса интегрирована в его конструкцию и включает в себя контроллер, выполняющий несколько важных функций. Основой управления является высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система управления, которая обеспечивает стабильный запуск, надежную работу и автоматическую компенсацию скорости вращения вала. Контроллер также обеспечивает безопасность работы, реализуя функцию выработки электроэнергии при внезапном отключении питания. Для интеграции в сложные вакуумные установки контроллер насоса поддерживает несколько интерфейсов и протоколов для внешнего управления.      Скорость откачки по азоту (N2) 3000 л/с, по аргону (Ar) – 2750 л/с, по гелию (He) – 2300 л/с и по водороду (H2) – 1100 л/с. Степень сжатия для азота и аргона превышает 1×108, что обеспечивает высокую эффективность работы. Предельное остаточное давление, достигаемое насосом, составляет ≤5×10-7 Па.
        Для своего функционирования насос требует наличия форвакуумной откачки с производительностью не менее 15 л/с. Охлаждение насоса – водяное, что позволяет эффективно отводить тепло при интенсивной работе. Монтаж насоса возможен в любой пространственной ориентации, а его общая масса вместе с контроллером составляет 75 кг.

    Имя файла Тип Дата Размер файла