- Параметры
- Описание
- Размеры
- Графики
- Скачать
- Входной фланец
- DN320 ISO F (стандарт)
- Номинальная скорость вращения ротора (об/мин)
- 21 000
- Выходной фланец
- KF40
- Время разгона (мин)
- ≤9
- Скорость откачки (л/с)
- N2 :2950, Ar:2750, He:2300, H2:1100
- Время остановки (мин)
- ≤12
- Степень сжатия
- N2:>108 Ar:>108, He:>104, H2:>103
- Тип охлаждения
- Водяное охлаждение
- Предельное давление (Па)
- 10-7 (резиновое уплотнение)
- Расход охлаждающей воды (л/мин)
- 3
- Максимальный мгновенный поток на входе (ст.см3/мин)
- 2100
- Рекомендуемая температура охлаждающей воды (oC)
- 20±5
- Фланец порта продувки (опционально)
- KF10
- Напряжение питания (В)
- 220±10%, 50Гц 110±10%, 60Гц
- Рекомендуемый расход защитного газа продувки (ст.см3,/sup>/мин)
- 50
- Модель встроенного контроллера
- CXFD-1001
- Максимально допустимая напряженность магнитного поля (мТл)
- Радиальный: 3
Осевой: 15
- Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
- ≥30
- Вес (кг)
- 76
KYKY CXF-320/3001 представляет собой высоковакуумный насос на магнитном подвесе, разработанный для применения в высокотехнологичных областях, таких как производство полупроводников, промышленные гальванопокрытия и научные приборы. Ротор насоса выполнен по композитной технологии из высокопрочного алюминиевого сплава и углеродного волокна. Это позволило значительно снизить его массу при одновременном повышении прочности, что необходимо для достижения высокой рабочей скорости вращения в 24 000 об/мин и обеспечения высокой надежности.
Важнейшей технической особенностью является коррозионностойкое исполнение. Поверхности деталей внутри насоса, контактирующие с газами, проходят специальную обработку для противодействия агрессивным средам, характерным для процессов травления, CVD, PVD и ионной имплантации. Для работы с газами, конденсирующимися при комнатной температуре, насос оснащен системой контроля температуры с электрическим нагревателем и регулятором, что позволяет поддерживать внутреннюю температуру на заданном уровне и предотвращать осаждение веществ внутри насоса.
Система управления насоса интегрирована в его конструкцию и включает в себя контроллер, выполняющий несколько важных функций. Основой управления является высокоэффективный высокоскоростной двигатель постоянного тока и система управления, которая обеспечивает стабильный запуск, надежную работу и автоматическую компенсацию скорости вращения вала. Контроллер также обеспечивает безопасность работы, реализуя функцию выработки электроэнергии при внезапном отключении питания. Для интеграции в сложные вакуумные установки контроллер насоса поддерживает несколько интерфейсов и протоколов для внешнего управления.
Скорость откачки по азоту (N2) 3000 л/с, по аргону (Ar) – 2750 л/с, по гелию (He) – 2300
л/с и по водороду (H2) – 1100 л/с. Степень сжатия для азота и аргона превышает
1×108, что обеспечивает высокую эффективность работы. Предельное остаточное
давление, достигаемое насосом, составляет ≤5×10-7 Па.
Для своего функционирования насос требует наличия форвакуумной откачки с производительностью не менее 15 л/с. Охлаждение насоса – водяное, что позволяет эффективно отводить тепло при интенсивной работе. Монтаж насоса возможен в любой пространственной ориентации, а его общая масса вместе с контроллером
составляет 75 кг.
| Имя файла | Тип | Дата | Размер файла |

