CXF-320/3002

CXF-320/3002

в наличии на складе в Москве

Особенности

  • Скорость откачки для азота (N2) 3260 л/с, для аргона (Ar) — 2900 л/с, для водорода (H2) — 1730 л/с.
  • Технология магнитного подвеса: ротор насоса удерживается в положении левитации с помощью электромагнитного поля без механического контакта.
  • Степень сжатия >1×109 для азота (N2) и аргона (Ar), что критически важно для достижения высокого и сверхвысокого вакуума.
  • Защита от коррозии: внутренние поверхности специально обработаны для устойчивости к агрессивным газам. Для дополнительной защиты насос может продуваться инертным газом (например, азотом) через опциональный порт KF10.
  • Насос оснащен системой водяного охлаждения и опциональным электрическим нагревателем с регулятором. Это предотвращает конденсацию и осаждение перекачиваемых газов внутри насоса, что особенно важно в таких процессах, как травление.

Применение

Производство полупроводников и микроэлектроники: травление кремниевых пластин, химическое осаждение из паровой фазы (CVD) и напыление тонких пленок. Промышленные гальванопокрытия и нанесение функциональных покрытий: нанесение износостойких, оптических и защитных покрытий на различные детали и инструменты. Научное приборостроение и исследовательские работы: масс-спектрометры, электронные микроскопы. Физика высоких энергий и термоядерные исследования: ускорители элементарных частиц и экспериментальные термоядерные реакторы. Авиакосмическая промышленность: испытание космических аппаратов и их компонентов в имитаторах космоса. Лазерные технологии: производство и исследования мощных лазерных систем. Исследования в области фотоники и оптоэлектроники: современные оптические компоненты и устройства.
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной фланец
    DN320 ISO F (стандарт)
    Номинальная скорость вращения ротора (об/мин)
    24 000
  • Выходной фланец
    KF40
    Время разгона (мин)
    ≤10
  • Скорость откачки (л/с)
    N2 :3260, Ar:2900, He:2550, H2:1730
    Время остановки (мин)
    ≤14
  • Степень сжатия
    N2:>109 Ar:>109, He:>104, H2:>103
    Тип охлаждения
    Водяное охлаждение
  • Предельное давление (Па)
    10-7 (резиновое уплотнение)
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    3
  • Максимальный мгновенный поток на входе (ст.см3/мин)
    2400
    Рекомендуемая температура охлаждающей воды (oC)
    20±5
  • Фланец порта продувки (опционально)
    KF10
    Напряжение питания (В)
    220±10%, 50Гц 110±10%, 60Гц
  • Рекомендуемый расход защитного газа продувки (ст.см3,/sup>/мин)
    50
    Модель встроенного контроллера
    CXFD-1001
  • Максимально допустимая напряженность магнитного поля (мТл)
    Радиальный: 3
    Осевой: 15
    Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    ≥30
  • Вес (кг)
    76
  •     KYKY CXF-320/3002 представляет собой высоковакуумный насос с магнитным подвесом ротора, разработанный для применения в высокотехнологичных отраслях. Основной технической особенностью насоса является пятиосевая активная система магнитного подвеса, которая обеспечивает бесконтактное положение ротора, что исключает механическое трение и необходимость в смазке. Данная система управления с замкнутым контуром осуществляет динамическую компенсацию дисбаланса ротора в режиме реального времени, гарантируя стабильную и надежную работу при номинальной скорости вращения 24 000 об/мин.
        Ротор насоса изготовлен по композитной технологии с использованием высокопрочного алюминиевого сплава и углеродного волокна Это обеспечивает значительное снижение инерции при одновременном повышении прочности, что является необходимым условием для достижения высоких рабочих характеристик и надежности. Для работы в условиях воздействия агрессивных сред насос оснащен комплексной антикоррозионной защитой, которая включает специальную обработку поверхностей деталей, контактирующих с газовой средой, а также возможность заполнения полостей инертным газом, через опциональный продувочный порт KF10. Дополнительную стабильность при длительной откачке агрессивных и конденсирующихся газов обеспечивает система контроля температуры, сочетающая водяное охлаждение и опционный нагрев, который предотвращает осаждение газов на внутренних компонентах насоса.     Вакуумные характеристики насоса демонстрируют скорость откачки 3260 л/с для азота (N2), 2900 л/с для аргона (Ar) и 1730 л/с для водорода (H2). Степень сжатия составляет не менее 1×109 для азота и аргона, что обеспечивает достижение предельного остаточного давления 1×10-7 Па. Конструкция насоса допускает монтаж в любом пространственном положении. Система охлаждения является водяной с рекомендуемым расходом 3 л/мин. Управление насосом осуществляется внешним контроллером, который обеспечивает стабильный запуск, регулировку скорости и диагностику. Для интеграции в системы более высокого уровня контроллер поддерживает стандартные промышленные интерфейсы, включая RS232/485 и Profibus.

    Сравнительный анализ моделей CXF-320/3001 и CXF-320/3002     Основное различие между моделями заключается в производительности и рабочих характеристиках. Модель CXF-320/3002 обладает более высокой скоростью откачки для всех типов газов: 3260 л/с для азота (N2) против с 2950 л/с у модели CXF-320/3001, 2900 л/с для аргона (Ar) против 2750 л/с, и 1730 л/с для водорода (H) против 1100 л/с. Значительно выше у модификации CXF-320/3002 и степень сжатия по азоту и аргону, составляющая >1×109, в то время как у модели CXF-320/3001 этот показатель находится на уровне >1×108. Это делает модель CXF-320/3002 эффективнее для достижения и поддержания более низкого предельного давления в задачах, требующих высокой чистоты вакуума.
        Различие в производительности обусловлено конструктивными особенностями роторной системы. Модель CXF-320/3002 развивает номинальную скорость вращения 24 000 об/мин, тогда как модель CXF-320/3001 работает на скорости 21 000 об/мин. Соответственно, увеличиваются и временные циклы: время разгона для модели CXF-320/3002 составляет до 10 минут, а остановки — до 14 минут, против 9 и 12 минут. Кроме того, модель 3002 рассчитана на работу при более высоком форвакуумном давлении — 2400 Па против 2100 Па у модели CXF-320/3001.

    Имя файла Тип Дата Размер файла