FF-200/1300F

FF-200/1300F

Особенности

  • Стабильные рабочие характеристики
  • Высокая скорость откачки при высоком входном давлении и большой газовой нагрузке
  • Простота эксплуатации
  • Компактность
  • Универсальность применения
  • Возможность установки в любом пространственном положении
  • Ротор из высокопрочной стали
  • Водяное охлаждение
  • Версии насосов для работы с агрессивными средами
  • Долгий срок службы

Применение

Научные исследования: установки для исследования плазмы, системы для поверхностного анализа, ускорители Промышленные технологии: в процессах производства полупроводников и микросхем, в установках молекулярно-лучевой эпитаксии (МЛЭ) и напыления (например, физическое вакуумное осаждение - PVD) Лабораторное оборудование: высоковакуумные напылительные установки (например, для распылительного пиролиза), масс-спектрометры Производство вакуумных электроприборов: изготовление электронно-оптических приборов и других компонентов, требовательных к чистоте вакуумной среды
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной порт
    DN200 CF
    DN200 ISO-K
    Выходной порт
    DN40
  • Скорость откачки (л/с)
    N2: 1300, He: 1000, H2: 480, Ar: 1250
    Коэффициент компрессии
    N2: 1×109, He: 1×104, H2: 6×103, Ar: 1×109
  • Предельное давление (Па)
    CF: 6×10-7
    ISO-K: 6×10-6
    Максимальное постоянное выпускное давление (Па)
    240
  • Максимальное выпускное давление (Па)
    N2: 600
    Максимальный поток газа (см3/мин)
    N2: 2500, He: 1850, H2: 1450, Ar: 950
  • Скорость вращения (об/мин)
    24 000
    Время запуска (мин)
    ≤9
  • Охлаждение
    Водяное
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    ≥1
  • Температура охлаждающей воды (oC)
    ≤25
    Напряжение питания (В)
    24 ПТ или 220, 50 Гц
  • Максимальная мощность (Вт)
    ≤500
    Модель контроллера
    TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II
  • Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    15
    Вес (кг)
    33(LF), 35(CF)
  •     KYKY FF-200/1300F (модель с водяным охлаждением) с механическим подвесом ротора на керамических подшипниках с консистентной смазкой. Эта схема обеспечивает высокую надежность и позволяет проводить монтаж насоса в любом пространственном положении. Конструкция включает молекулярную ступень, что обеспечивает стабильную работу при давлении на выхлопном фланце до 240 Па непрерывно и до 600 Па кратковременно.
        Для управления насосом FF-200/1300 требуется внешний контроллер TCDP-II. Это связано с его высокой производительностью и строгими требованиями к электропитанию и системе управления. Контроллер обеспечивает плавный запуск. Ротор набирает номинальную частоту вращения 24000 об/мин менее чем за 9 минут. Он также осуществляет непрерывный мониторинг параметров, что гарантирует безопасность и стабильность технологического процесса.
        Насос предлагается в нескольких модификациях. Они отличаются системой охлаждения и стойкостью к агрессивным средам. Стандартное исполнение "E" предполагает воздушное охлаждение. Для задач с повышенной тепловой нагрузкой предназначены модификации с литерой "F". Они оснащены системой водяного охлаждения. Рекомендуемая температура теплоносителя не выше 25oC, а расход — не менее 1 л/мин. Для работы в условиях возможного воздействия агрессивных сред производитель предусматривает коррозионностойкое исполнение. Оно обозначается литерой "N".
        Коэффициенты сжатия для азота и аргона (109), для водорода (103) и гелия (104) гарантирует эффективное удаление легких газов из системы. Скорость откачки 1300 л/с по азоту делает насос подходящим для большинства применений в высоковакуумных приложениях. При этом скорость откачки 480 л/с по водороду является достаточной для поддержания низкого парциального давления водорода в системе. Для стабильной работы насоса рекомендуется форвакуумный насос с производительностью до 60-65 м3/ч.

    Имя файла Тип Дата Размер файла