FF-250/2000

Главная > Каталог > Вакуумные насосы > Турбомолекулярные насосы > FF-250/2000

FF-250/2000

Особенности

  • Стабильные рабочие характеристики
  • Высокая скорость откачки при высоком входном давлении и большой газовой нагрузке
  • Простота эксплуатации
  • Компактность
  • Универсальность применения
  • Возможность установки в любом пространственном положении
  • Ротор из высокопрочной стали
  • Водяное охлаждение
  • Версии насосов для работы с агрессивными средами
  • Долгий срок службы

Применение

Полупроводниковое производство: процессы изготовления интегральных схем Физическое осаждение из паровой фазы (PVD): промышленные системы нанесения покрытий Научные исследования: оборудование для анализа поверхностей, масс-спектрометры, ускорители частиц Материаловедение: системы обработки и исследования современных материалов Производство вакуумных электронных приборов: Изготовление вакуумных ламп, рентгеновских трубок и связанных компонентов
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной порт
    DN250 CF
    DN250 ISO-K
    Выходной порт
    DN50
  • Скорость откачки (л/с)
    N2: 2000, He: 1600, H2: 740, Ar: 1900
    Коэффициент компрессии
    N2: 1×108, He: 1×104, H2: 6×103, Ar: 1×109
  • Предельное давление (Па)
    CF: 6×10-7
    ISO-K: 6×10-6
    Максимальное постоянное выпускное давление (Па)
    200
  • Максимальное выпускное давление (Па)
    N2: 650
    Максимальный поток газа (см3/мин)
    N2: 3200, He: 2400, H2:1850, Ar:1200
  • Скорость вращения (об/мин)
    24 000
    Время запуска (мин)
    ≤9
  • Охлаждение
    Водяное
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    ≥1
  • Температура охлаждающей воды (oC)
    ≤25
    Напряжение питания (В)
    24 ПТ или 220, 50 Гц
  • Максимальная мощность (Вт)
    ≤750
    Модель контроллера
    TCDP-II, FD-IIB, TD-II/TCP-II
  • Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    15
    Вес (кг)
    32(LF), 35(CF)

    •     KYKY FF-250/2000 оснащен механическим подвесом ротора на керамических подшипниках с консистентной смазкой, обеспечивающим высокую надежность и монтаж насоса в любом пространственном положении. Важным преимуществом является устойчивость к высокому форвакуумному давлению: насос может работать при непрерывном давлении на выхлопе до 200 Па. Кратковременно он выдерживает до 650 Па, что делает его устойчивым к перепадам давления в вакуумной системе.
        Управление насосом осуществляется через внешний контроллер. Производитель предлагает несколько совместимых моделей: FD-II, FD-IIB, TCDP-II и TD-II. Эти контроллеры обеспечивают полный функционал управления и обеспечивают плавный запуск. Ротор набирает номинальную частоту вращения 24000 об/мин менее чем за 9 минут. Контроллеры позволяют точно регулировать скорость вращения для стабильности технологического процесса. Насос также может питаться от напряжения 24 В постоянного тока. Это удобно для интеграции в большие вакуумные системы.
        Для отвода тепла используется водяное охлаждение, что обеспечивает стабильную работу даже при длительной эксплуатации. Рекомендуемый расход теплоносителя — не менее 1 литра в минуту. Температура охлаждающей жидкости не должна превышать 25oC.
        Анализ компрессии и скорости откачки показывает высокую эффективность насоса. Коэффициент сжатия для азота (108) и аргона (109) обеспечивает исключительную производительность по этим газам, значения для водорода (103) и гелия (104) также находятся на хорошем уровне. Это гарантирует эффективное удаление легких газов из системы. Скорость откачки 2000 л/с по азоту делает насос выгодным решением для большинства применений в высоковакуумном диапазоне. При этом скорость откачки 740 л/с по водороду является достаточной для поддержания низкого парциального давления водорода в системе.
        Производитель предлагает модификацию насоса FF-250/2000NE в коррозионностойком исполнении для работы с агрессивными газами.
        Для стабильной работы рекомендуемая производительность форвакуумного насоса составляет 70 м3/ч.

    Имя файла Тип Дата Размер файла