FF-400/3500B

FF-400/3500B

Особенности

  • Высокая скорость откачки 3500 л/с по азоту
  • Маслосмазываемые подшипники для тяжелых условий эксплуатации
  • Строго вертикальный монтаж является обязательным требованием
  • Эффективное водяное охлаждение корпуса и подшипникового узла
  • Внешний контроллер с расширенным функционалом управления
  • Высокая степень компрессии для азота и тяжелых газов
  • Надежная конструкция для непрерывных промышленных процессов

Применение

Полупроводниковое производство: для напыления покрытий на кремниевые подложки диаметром до 12 дюймов Научные исследования: в синхротронных излучателях, ускорителях частиц, установках для физики высоких энергий и масс-спектрометрии Промышленные технологии: в процессах PVD, CVD, ионной имплантации, электронно-лучевой сварке и в вакуумных печах
  • Параметры
  • Описание
  • Размеры
  • Графики
  • Скачать
  • Входной порт
    DN400 ISO-K
    Выходной порт
    DN100
  • Скорость откачки (л/с)
    N2: 3500, He: 2750, H2: 1300, Ar: 3300
    Коэффициент компрессии
    N2: 1×108, He: 1×103, H2: 5×102, Ar: 1×108
  • Предельное давление (Па)
    2×10-6
    Максимальное постоянное выпускное давление (Па)
    100
  • Максимальное выпускное давление (Па)
    N2: 300
    Максимальный поток газа (см3/мин)
    N2: 5500, He: 4000, H2: 3200, Ar: 2100
  • Скорость вращения (об/мин)
    13 500
    Время запуска (мин)
    ≤18
  • Охлаждение
    Водяное
    Расход охлаждающей воды (л/мин)
    ≥1
  • Температура охлаждающей воды (oC)
    ≤25
    Напряжение питания (В)
    24 ПТ, 220, 50 Гц
  • Максимальная мощность (Вт)
    ≤1100
    Модель контроллера
    FD-III, TCDP-III
  • Рекомендуемая скорость откачки форвакуумного насоса (л/с)
    30
    Вес (кг)
    130
  •     KYKY FF-400/3500B представляет собой турбомолекулярный насос, в котором используется высокоскоростной подшипниковый узел с консистентной смазкой четвертого поколения. Этот насос разработан для создания и поддержания сверхвысокого вакуума в ответственных применениях, где особенно важны надежность и чистота вакуумной среды.

        Технические особенности и преимущества
        Важной особенностью насоса является его подшипниковая система. Верхний и нижний подшипники рассчитаны на предельную скорость вращения 150 000 об/мин и 95 000 об/мин соответственно, но обеспечивают стабильную работу ротора с номинальной скоростью 13 500 об/мин. Ресурс работы подшипников до повторного обслуживания превышает 35 000 часов для верхнего и 40 000 часов для нижнего подшипника, что значительно снижает затраты на обслуживание и увеличивает время наработки на отказ. Система демонстрирует исключительно низкий уровень газовыделения (менее 3×10-11 мбар·л/с) и низкий уровень вибрации (класс балансировки G0.4/G0.6), что необходимо для чувствительных процессов и исследований. Насос обладает высокой устойчивостью к сложным условиям эксплуатации, включая работу в магнитных полях до 8 Тесла, в радиационной среде и при термических ударах в диапазоне от -196oC до +200oC.

        Варианты исполнения и система управления
        Производитель предлагает специализированные исполнения насоса для различных отраслей: низковибрационная версия для литографических установок, антирадиационная модель для ускорителей частиц и версия для работы в криогенных условиях (4K) для квантовых вычислений. Для промышленности доступна высоконадежная версия, рассчитанная на непрерывную работу 24/7. Управление насосом осуществляется через внешние программируемые контроллеры, такие как FD-III или TCDP-III, которые обеспечивают питание, плавный пуск, мониторинг рабочих параметров и защиту системы.

    Имя файла Тип Дата Размер файла